氦质谱仪的泄漏检测方法通常有两种,一种是常规泄漏检测,另一种是反向扩散泄漏检测。反向扩散泄漏检测是将测试件连接到分子泵出气口的末端,并且泄漏的氦气从分子泵出气口进入安装在泵进气口的质谱仪管中,方向相反。泵排气。这种泄漏检测方法基于以下事实:分子泵对不同的气体质量具有不同的压缩率(分子泵出口处的气压与入口处的压力之比),即不同气体的反向扩散。反向扩散法检漏可以使试件的内部压力更高。氦质谱仪检漏仪可达到300Pa(通常传统检漏仪小于0.05Pa),适用于检测大型容器或泄漏较大的设备。泄漏。反向扩散法还具有不易污染质谱仪管且灯丝寿命长的优点。氦质谱检漏仪修长的体积,优越的性能,适用于众多行业。泰州氦质谱检漏仪销售厂家
氦质谱检漏仪测试高纯气体管道的方法:1. 确认系统中所有的阀门和调压阀都是全开的。2. 确认系统中的压力为0,如果系统中还有正压,要先将系统中的气体放掉。3. 缓缓打开检漏仪入口处的阀门,开始将系统抽成真空状态。遵照检漏仪的操作说明操作,直至达到可以检测的状态。4. 记录下检漏仪的背景氦漏率,该背景氦漏率低于1 ×10-9 mbar.l/s以后,才可以进行喷吹工作。5. 从较靠近检漏仪的焊道或连接处开始检测,将氦气用喷口喷吹到焊道或连接处,使得氦气会停留在焊道或连接处一段时间,确认没有泄漏后,进行下一个焊道或连接处的检测,直到较后一个焊道或连接处。泰州氦质谱检漏仪销售厂家氦质谱检漏仪负压法就是常说的抽真空,这是氦质谱检漏仪常用的检漏方法。
氦质谱检漏仪中氦质谱检漏系统的关键部件均为进口,性能稳定可靠。修长的体积,优越的性能,适用于众多行业。运用了氦质谱和逆扩散原理,采用了原装进口分子泵、180°非均匀磁场和全自动控制技术,实现了自动氦峰扫描、自动调零、自动校准和自动量程切换,具有检测速度快、检测灵敏度高、抗干扰能力强等特点。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。 此检测方法使用的示踪气体选择了氦气,氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点,达到了细检漏的目的。氦质谱检漏仪特点:1.检测时间和响应周期非常短,可以达到2s以内;2.检测的介质比较常用,只需压缩空气即可;3.多种大漏保护模式,充分保护离子源不被氧化和暴漏大气时分子泵不被冲击。
氦质谱检漏仪使用方法:吸口法,被检件充入高于大气压的探索气氦,检漏仪的检漏口连接称之为吸口的气体采集器。当试件有漏时,泄漏的氦气被吸口吸入检漏仪,而被检测。吸口在试件表面移动,同时注视检漏仪漏率指示的变化,一旦泄漏增加,吸口所指位置即漏点所在。因此吸口法也是能确定漏孔的检漏方法。钟罩法,测总漏率,将被检件与仪器检漏口联接抽真空,在被检件外面罩以充满氦气的容器,如被检件有漏孔,氦气便由漏孔进入被检件,终达到质谱管被检测。所测漏率是被检件的总漏率,不能确定有几个泄漏点和每个漏点的准确位置。可以看出钟罩法是基于喷吹法的一种检漏方法。氦质谱检漏仪可以双灯丝自动切换、自动调零、自动校准等。
氦质谱检漏仪应该如何选择?1、仪器的功能能满足检漏的要求。如有些仪器没有逆流检漏功能,就不适合吸口法检漏;有些仪器没有报废漏率的设置功能,不宜作为批量产品筛选检漏用;流水线上要求一定的检漏速度,此时应选择有双工位的检漏仪。2、仪器的灵敏度能满足检漏的要求。国内外生产的不同类型的氦质谱检漏仪的灵敏度是不一样的,如果检漏要求的灵敏度较高,就要认真选择。3、被检件如果害怕油的污染,就应选择无油真空系统的检漏仪。4、被检件容积如果较大,必须选用抽泵抽速大的检漏仪,否则就要外加预抽泵。5、如果被检对对象不固定,体积时大时小,灵敏度要求时高时低时,就要选择功能较全、灵敏度较高、检漏范围宽的检漏仪。6、如果检漏地点不固定,需要经常搬运仪器时,就要选择小型便携式仪器。7、在满足上述检漏基本要求的基础上,还要综合考虑仪器的价格是否低、操作是否简易、维修是否方便等方面的问题。氦质谱检漏仪背压法优点是检测灵敏度高,能实现小型密封容器产品的泄漏检测。重庆氦质谱检漏仪多少钱
氦质谱仪的泄漏检测方法通常有两种,一种是常规泄漏检测,另一种是反向扩散泄漏检测。泰州氦质谱检漏仪销售厂家
影响氦质谱检漏仪灵敏度的因素有哪些?第1,氦质谱检漏仪在校准灵敏度时,标准漏孔的位置不同于被检漏孔的位置,即标准漏孔与被检漏孔到检漏仪的距离相差太大,泄漏氦气的损失在途中不同,会导致进入检漏仪的氦量可比性差。第二,是进入被检漏孔与标准漏孔的氦气压力或分压比不相等,或无法准确给出氦气压力和分压比值,导致无法转换,此时也会产生漏率测量误差。第三,标准漏孔的标称漏率有误差。第四,是氦质谱检漏仪输出指示与泄漏率线性关系差。第五,在校准灵敏度或用比较法确定漏孔漏率时,标准漏孔的气流特性与被检漏孔不同。第六,检漏仪性能不稳定;第七,氦气纯度不稳定或有误差;第八,之后是检漏操作人员的因素,包括素质、责任感、技术水平和工作经验。泰州氦质谱检漏仪销售厂家
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